电容敏感元件用于将被测压力转换为与之成一定关系的电输出压力传感器。它通常使用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的电极。当薄膜感受到压力并变形时，薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化，与电压成一定关系的电信号可以通过测量电路输出。电容式压力传感器可分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器。
  它由圆形薄膜和固定电极组成。薄膜在压力的作用下变形，从而改变电容器的容量。其灵敏度大致与薄膜的面积和压力成正比，与薄膜的张力和从薄膜到固定电极的距离成反比。另一种类型的固定电极呈凹形球形，薄膜为周围固定的张紧平面，可采用塑料镀金属层制成。这种类型适用于测量低压和高过载能力。高压测量的单电容式压力传感器也可以用活塞动极膜片制成。这种类型可以减少薄膜的直接压力面积，从而使用薄膜来提高灵敏度。它还与各种补偿和保护部门和放大电路封装在一起，以提高抗干扰能力。该传感器适用于测量动态高压和飞遥测。单电容式压力传感器包括传声器(即麦克风)和听诊器。
  它的压力膜片电极位于两个固定电极之间，形成两个电容器。在压力的作用下，一个电容器的容量增加，另一个电容器相应减小，测量结果由差动电路输出。它的固定电极由凹曲玻璃表面的镀金属层制成。过载时，膜受到凹面的保护，不会破裂。差动电容式压力传感器灵敏度高，线性好，但加工困难(尤其是对称性难以保证)，无法隔离被测气体或液体，不适合在腐蚀性或杂质流体中工作。